发光二极管芯片检测方法
一种圆片级发光二极管芯片检测方法、检测装置及其透明探针卡。
此检测方法包括:提供一透明探针卡,且透明探针卡覆盖于圆片的上方,并以透明探针卡的接点电性连接LED芯片的测试垫,以对LED芯片进行一点亮测试。当LED芯片发光后,对LED芯片的光信号进行一成像处理,以形成一影像于一感测元件上。撷取影像,并将影像的信号转换成对应于各个LED芯片的一光场信息及一位置信息。根据LED芯片的光场信息,得到LED芯片的光谱及发光强度。根据LED芯片的光谱及发光强度,以对LED芯片进行分类。本发明还揭露一种应用上述检测方法的圆片级LED发光二极管芯片检测装置及透明探针卡。
上述的检测方法、检测装置及其透明探针卡,具有提高检测速度及快速分类的优点。
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